Benzocyclobutene (DVS-BCB) polymer as an interlayer dielectric (ILD) material
M. Mills, P. Townsend, D. Castillo, S. Martin +1 more
Researcher profile · Semantic Scholar
M. Mills, P. Townsend, D. Castillo, S. Martin +1 more
G. Fischbeck, R. Moosburger, C. Kostrzewa, A. Achen +1 more
A. Achen, James R. Toscano, Robert H. Marjoram, K. S. St. Clair +3 more
A. Tetelin, A. Achen, V. Pouget, C. Pellet +2 more
Michael Topper, A. Achen, Herbert Reichl
W. Radlik, K. Plehnert, M. Zellner, A. Achen +3 more
A. Tetelin, C. Pellet, A. Achen, M. Toepper
Rahel Straessle, S. Zimmermann, Luca del Carro, J. Zürcher +5 more
L. Dumas, S. Verrier, A. Achen, J. Hetzner +8 more
Ying So, Edmund J. Stark, S. Thurston, T. Stokich +12 more
T. Brunschwiler, Jonas Zurcher, S. Zimmermann, B. Burg +13 more
M. Töpper, A. Achen, C. Lopper, Veronika Glaw +3 more
Ying So, J. Im, P. Garrou, J. Hetzner +9 more
Ying So, Edmund J. Stark, Yongfu Li, S. Kisting +6 more
G. Meyer-Berg, Ivo Koren, H. Hedler, H. Hübner +2 more
G. Meyer-Berg, D. Chin, S. Persson, A. Achen