Measurement of Residual Stress and Young’s Modulus on Micromachined Monocrystalline 3C-SiC Layers Grown on <111> and <100> Silicon
S. Sapienza, M. Ferri, L. Belsito, D. Marini +3 more
Researcher profile · Semantic Scholar
S. Sapienza, M. Ferri, L. Belsito, D. Marini +3 more
M. Simonazzi, G. Chiorboli, P. Cova, R. Menozzi +5 more
S. Sapienza, G. Sozzi, D. Santoro, P. Cova +3 more
G. Sozzi, S. Sapienza, R. Nipoti, G. Chiorboli
Angela Garofalo, Annamaria Muoio, S. Sapienza, Matteo Ferri +3 more
F. La Via, L. Belsito, Ferri Matteo, S. Sapienza +3 more
Angela Garofalo, Annamaria Muoio, L. Belsito, S. Sapienza +3 more
G. Sozzi, S. Sapienza, Giovanni Chiorboli, L. Vines +2 more
Annamaria Muoio, Angela Garofalo, S. Sapienza, F. La Via
S. Sapienza, L. Belsito, Matteo Ferri, Ivan Elmi +3 more
S. Sapienza, M. Ferri, L. Belsito, D. Marini +3 more
R. Nipoti, M. Canino, S. Sapienza, M. Bellettato +2 more
Payam Habibzadeh Kavkani, A. Tavabi, Paolo Rosi, A. Roncaglia +7 more
S. Sapienza, L. Belsito, Matteo Ferri, Ivan Elmi +3 more
Viviana Scuderi, Annamaria Muoio, S. Sapienza, Matteo Ferri +3 more
S. Sapienza, L. Belsito, Matteo Ferri, Ivan Elmi +2 more
S. Sapienza, Richard Eloin Liebano
S. Sapienza, Richard EloinLiebano