Improved Low-Temperature Si Si Hydrophilic Wafer Bonding
200338 citations Open access
Semantic Scholar
Researcher profile · Semantic Scholar
W. Miloch, S. Habbal, R. Esser
R. Esser, A. Dimoulas, N. Strifas, A. Christou +1 more
M. Hilchenbach, S. Orsini, Ke C. Hsieh, E. Antonucci +30 more
A. Dimoulas, N. Strifas, R. Esser, A. Christou +4 more